新型显微镜可满足纳米研究的需要

一种功能强大具有亚埃级高分辨率的电子显微镜已经被研制成功。该显微镜简单易用，其设计是用于满足纳米研究和工业上的需求。

这款Titan扫描透射式电子显微镜（S/TEM）是FEI公司（Hillsboro， OR， USA； www.feicompany.com）的产品。该显微镜设计中采用了专用高度升级的色差校正系统，这就使校正器和单色器技术进入了主流的纳米技术研究和工业市场。

由于其设计、性能和创新，该显微镜已经赢得了四个奖项。包括德国的国际设计论坛授予的iF奖、美国俄勒冈州技术奖的年度创新产品奖。这款电子显微镜也被美国的几家报刊评选为2005年度最佳产品。

由于世界各国政府相关机构开发小分子需求的看涨，随着半导体制造商不断推进设计制造业45纳米模式，制造超高分辨率成像的输入，作为一项技术先进的研究工作仍将在继续，并在向纳米规模发展。

第一台Titan S/TEMs显微镜在2005年下半年中被安装。世界其它各地也正在进行安装。为了满足需求，FEI公司正在不断加紧生产。FEI公司为纳米技术离子和电子束技术提供研究工具，致力于提高亚埃级分辨率的三维（3D）特征分析和校正能力。

FEI公司>>www.feicompany.com