大功率垂直腔表面发射激光器通过鉴定

由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所和中科院物理研究所共同承担的知识创新工程项目“980nm大功率垂直腔表面发射激光器”，日前在长春通过了由周炳琨院士等组成的专家组鉴定。

据该项目组负责人、长春光机所研究员王立军介绍，垂直腔表面发射激光器作为半导体激光技术中的新型器件，相对传统的边发射半导体激光器具有光束质量好、易于制作大规膜集成列阵等优点。在通讯、加工、医疗、显示等领域具有广泛的应用前景，目前，国际垂直腔表面发射半导体激光器方面的研究主要集中在面向光通讯应用的850nm波段小功率器件上，并已经商品化，而980nm高功率激光的报道还很少。

面对高功率垂直腔表面发射激光器的未来发展趋势和国民经济建设的实际需求，长春光机所与中科院物理所联合开展了“980nm高功率垂直腔表面发射激光器研究”的科技攻关。他们在总结以往工作经验的基础上，攻克了一系列关键工艺技术，建立了高功率垂直腔表面发射激光器结构优化设计理论模型，采用能带理论计算了量子阱光增益、最佳掺杂浓度；用有限元法首次研究了底发射结构电极间距的最佳距离等；在国际上首次采用高导热AJ203薄膜钝化技术减少非辐射复合降低器件阈值电流；首次采用氧化铪多层膜组合技术制备高透过率出光窗口等。促使研究工作取得了突破性进展，在国际上首次研制出500μm、600μm、700μm大直径高功率垂直腔表面发射激光器件，连续波光功率输出均为1.95瓦。研制出200μm直径VCSEL器件，10ns条件下峰值光功率10.5瓦，光功率密度33.4千瓦/平方米；300μm直径VCSEL器件连续波光功率输出1.11瓦，光功率密度1.57千瓦/平方米；上述指标均高于国际报道的同类器件。